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차세대 파워 반도체 검사 툴
PA Series
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유리,광학필름 등 빛이 투과되고 위상차가 낮은(λ/2) 재료의 내부 응력과 배향 구조를 실시간(동영상 가능) 으로 계측할 수 있는 편광 고속도 카메라
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CCD센서에 직선 편광자가 삽입 되어있어 회전형 편광판 불필요
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초고속 편광 이미지 센서 탑재로 타사 장비 대비 1,000배 빠른 측정 가능
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기존 계측기의 측정으로는 표현이 어려웠던 다양한 물리적 양과 특성을 시각화 및 정량화 가능
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편광 계측에 필요한 휘도 정보를 10,000fps/sec(최대) 습득 가능
Product Family
PA-Series
제품명
PA-300-XL
PA-300-L
PA-300
PA-300-MT
PA-micro
PA-micro-S
PA-300-NIR
출력
위상차 [nm]※, 배향각 [°] ※데이터 처리 옵션의 일부로 [MPa]
위상차[nm] ※, 배향각[°]
※데이터 처리 옵션의 일부로[MPa]
반복 재현성
σ < 0.1nm
σ < 1.0nm
보증 없음
σ < 1nm
작동 파장
520nm
850nm
측정 범위
0 ∼ 130nm
보증 없음
0∼213nm
해상도
약 500만 화소 (2056×2464 pixels)
약 500만 화소
(2056×2464 pixels)
시야 크기
표준 렌즈
줌 렌즈
약 242×290mm∼
약 360×480mm
약 37×44mm∼
약 240×320mm
약 30×36mm∼
약 100×133mm
약 37×44mm
※설정 조건에 따라 다름
약 140×170μm∼
약 3.5×4.2mm
(×2, ×5, ×10, ×20, ×50)
현미경에 따라 다름
약 30×36mm∼
약 100×133mm
비지원
약 5.5×6.6mm∼
약 25×30mm
약 5.5×6.6mm∼
약 25×30mm
약 7.0×8.4mm∼
약 20.0×24.0mm
약 70×80μm
(x100은 선택 사항입니다)
현미경에 따라 다름
약 5.5×6.6mm∼
약 25×30mm
본체 치수(W×D×H)·무게
650×650×최대1930mm
약 46kg
430×487×최대1166mm
약 23kg
270×337×최대631mm
약 12kg
160×190×316mm 약4kg
※설정 조건에 따라 다름
270×500×610mm
약 18kg
60×70×85mm
약 0.5kg
270×337×최대631mm
약 12kg
제품 내용
제품 본체(PA-micro는 현미경 포함, PA-micro-S는 현미경을 포함하지 않습니다), 조작용 PC, 소프트웨어(PA-View), 사용설명서
옵션
줌 렌즈
데이터 처리 기능
광시야보정기능
렌즈 분석기능
실시간 분석기능
외부제어기능
파장분산 (CD) 모드
WPA 고위상차기능
렌즈 측정 전용 스테이지
PA · WPA-L 용 차광커버
광탄성계수 계측 옵션
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대물렌즈 X 100
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상담 필요
필요
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