ISSOFT

북굴절 계측기

PA Series

차세대 파워 반도체 검사 툴

PA Series

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  • 유리,광학필름 등 빛이 투과되고 위상차가 낮은(λ/2) 재료의 내부 응력과 배향 구조를 실시간(동영상 가능) 으로 계측할 수 있는 편광 고속도 카메라

  • CCD센서에 직선 편광자가 삽입 되어있어 회전형 편광판 불필요

  • 초고속 편광 이미지 센서 탑재로 타사 장비 대비 1,000배 빠른 측정 가능

  • 기존 계측기의 측정으로는 표현이 어려웠던 다양한 물리적 양과 특성을 시각화 및 정량화 가능

  • 편광 계측에 필요한 휘도 정보를 10,000fps/sec(최대) 습득 가능

제품 사양

Product Family

PA-Series

제품명

PA-300-XL

PA-300-L

PA-300

PA-300-MT

PA-micro

PA-micro-S

PA-300-NIR

출력

위상차 [nm]※, 배향각 [°] ※데이터 처리 옵션의 일부로 [MPa]

위상차[nm] ※, 배향각[°]
※데이터 처리 옵션의 일부로[MPa]

반복 재현성

σ < 0.1nm

σ < 1.0nm

보증 없음

σ < 1nm

작동 파장

520nm

850nm

측정 범위

0 ∼ 130nm

보증 없음

0∼213nm

해상도

약 500만 화소 (2056×2464 pixels)

약 500만 화소
(2056×2464 pixels)

시야 크기

표준 렌즈

줌 렌즈

약 242×290mm∼
약 360×480mm

약 37×44mm∼
약 240×320mm

약 30×36mm∼
약 100×133mm

약 37×44mm

※설정 조건에 따라 다름

약 140×170μm∼
약 3.5×4.2mm

(×2, ×5, ×10, ×20, ×50)

현미경에 따라 다름

약 30×36mm∼
약 100×133mm

비지원

약 5.5×6.6mm∼
약 25×30mm

약 5.5×6.6mm∼
약 25×30mm

약 7.0×8.4mm∼
약 20.0×24.0mm

약 70×80μm

(x100은 선택 사항입니다)

현미경에 따라 다름

약 5.5×6.6mm∼
약 25×30mm

본체 치수(W×D×H)·무게

650×650×최대1930mm

약 46kg

430×487×최대1166mm

약 23kg

270×337×최대631mm

약 12kg

160×190×316mm 약4kg

※설정 조건에 따라 다름

270×500×610mm

약 18kg

60×70×85mm

약 0.5kg

270×337×최대631mm

약 12kg

제품 내용

제품 본체(PA-micro는 현미경 포함, PA-micro-S는 현미경을 포함하지 않습니다), 조작용 PC, 소프트웨어(PA-View), 사용설명서

옵션

줌 렌즈

데이터 처리 기능

광시야보정기능

렌즈 분석기능

실시간 분석기능

외부제어기능

파장분산 (CD) 모드

WPA 고위상차기능

렌즈 측정 전용 스테이지

PA · WPA-L 용 차광커버

광탄성계수 계측 옵션

×

대물렌즈 X 100

 

 

 

상담 필요

필요

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상담 필요

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대표자명
서현배
사업자번호
123-81-75934
E-mail
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Tel
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Fax
031-436-1420
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(우)15847 경기도 군포시 공단로 140번길 46 엠테크노센터 1003~1004호
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