복굴절계측기ㅣ응력측정을 통한 TGV 유리기판 소재 개선 장비 PA-300
TGV 유리기판 응력을 고해상도로 정량화하다
초고속 복굴절 계측 솔루션 PA-300 시리즈는
TGV 유리기판의 응력 분포를 면 단위로 측정하고, 공정 최적화에 필요한 정량 데이터를 제공합니다.
TGV(Through Glass Via)는 유리기판에 미세한 홀을 정밀하게 가공해 전기적 연결을 구현하는 고부가가치 공정입니다.
하지만 유리라는 소재 특성상, 가공 과정에서의 응력 집중, 미세 크랙, 잔류 응력이 제품 신뢰성에 영향을 줄 수 있습니다. PA-300 시리즈는 이러한 문제를 사전에 분석하고, 공정 최적화를 위한 데이터를 제공하는 복굴절 기반 초고속 응력 측정 시스템입니다.
이번 글에서 알 수 있는 것
고해상도 확대 관찰, 빠른 측정 속도, 응력 데이터 정량화, 대면적 측정 기능을 확인합니다.
가공된 홀 주변의 응력 분포를 컬러맵, 라인 분석, 영역 분석, CSV로 비교합니다.
PA-300, PA-300-L, PA-300-XL, PA-300-MT, PA micro의 측정 범위를 정리합니다.
양불 자동 판정, 푸앙카레구 시각화, 3D 분석 등 추가 분석 기능을 확인합니다.
PA-300 시리즈 소개
포토닉래티스 PA-300L 제품 특징
PA-300 시리즈는 TGV 유리기판과 같이 응력 관리가 중요한 소재에서 복굴절 정보를 빠르게 수집하고, 면 단위 응력 분포를 정량화하는 데 활용됩니다.
줌 렌즈로 복잡한 형상 부분의 확대 관찰 가능
초고속 편광 이미지 센서 탑재로 타사 장비 대비 빠른 측정 가능
어닐링 가공 전/후 응력을 픽셀별 데이터로 추출하여 정량화 가능
기존의 점 측정이 아닌 면 단위 스캔 측정 지원
가공된 홀 하나하나에 걸리는 응력, 한눈에 확인 가능
TGV 공정에서 가장 중요한 품질 포인트 중 하나는 홀 주변의 응력 분포입니다.
PA-300 시리즈는 편광 이미지 센서를 기반으로 복굴절 정보를 초고속으로 수집해, 라인 분석, 영역 분석, 픽셀별 정량 추출(CSV) 기능으로 가공 공정 전후의 응력을 비교 분석할 수 있습니다.
각 홀의 응력 분포 가시화
세기·형상·위치에 따른 응력 차이를 컬러맵으로 확인하고, 공정 이후 유리기판 내부에 남은 응력을 픽셀 단위로 확인할 수 있습니다.
라인 분석
원하는 위치에 선을 지정하고, 해당 라인의 응력값을 최소·최대·평균값으로 추출해 그래프로 비교할 수 있습니다.
영역 분석
사각형·원형 등 임의 면적을 지정해 최소·최대·평균 응력값을 분석할 수 있습니다.
픽셀 기반 CSV 추출
측정 완료 데이터에서 원하는 영역의 위상차와 응력 값을 지정해 정량화할 수 있습니다.장점 02
장점 02
양불 자동 판정부터 푸앙카레구 분석까지, 소프트웨어 옵션도 강력
PA 시리즈는 하드웨어뿐 아니라 소프트웨어 옵션도 풍부합니다. 이 기능들이 결합되어 단순 계측 장비를 넘어 종합 품질 분석 시스템으로 활용할 수 있습니다.
사용자가 지정한 기준으로 자동 판정
편광 상태의 분포를 입체적으로 시각화
복합적인 불량 요인 분석에 활용
제품 크기와 분석 환경에 따른 다양한 라인업
TGV 유리기판의 사이즈와 레이아웃, 가공 조건은 업체마다 다양합니다. PA-300 시리즈는 이러한 니즈에 맞춰 30x36mm부터 480mm까지 폭넓은 측정 범위에 대응할 수 있습니다.
| 제품 이미지 | 모델명 | 측정 범위 |
|---|---|---|
 |
PA-300 낮은 위상차의 경우 표준 유형 |
30x36mm ~ 100x133mm |
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PA-300-L 낮은 위상차의 경우 큰 유형 |
37x44mm ~ 240x320mm |
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PA-300-XL 낮은 위상차의 경우 초대형 유형 |
242x290mm ~ 260x480mm |
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PA-300-MT 낮은 위상차의 경우 작은 유형 |
약 37×44mm (설정 조건에 따라 상이) |
 |
PA micro 낮은 위상차의 경우 현미경 유형 |
약 140×170μm ~ 약 3.5×4.2mm |
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